碳化硼在藍寶石晶圓LED中的應用

碳化硼在藍寶石晶圓LED中的應用

碳化硼磨料在藍寶石晶片的雙面磨削和藍寶石基LED外延片的背面減薄拋光方面具有良好的性能。

由於藍寶石晶體的高強度和硬度，給加工企業帶來了很大的困難。從材料和磨削學界來看，加工磨削藍寶石晶體比較好的材料是合成金剛石、碳化硼、碳化矽。由於人造金剛石硬度過高，研磨時會劃傷藍寶石晶片表面，影響晶片透光率，價格昂貴。但碳化矽硬度不足，磨削力差，在磨削過程中費時費力。因此，碳化硼磨料成為加工和研磨藍寶石晶體的理想材料。