中國散裂中子源研發成功高性能大面積碳化硼薄膜

中國散裂中子源研製成功高性能大面積碳化硼薄膜
記者10月16日從中國散裂中子源（CSNS）獲悉，CSNS探測器團隊近期利用自主研發的磁控濺鍍大面積鍍硼專用裝置，成功製備出符合中子偵測器需求的高性能大型鍍硼裝置。面積碳化硼薄膜樣品，單片面積達1500 mm×500 mm，薄膜厚度為1微米，全尺寸範圍內厚度均勻性優於±1.32%。是目前世界上面積最大的中子探測的碳化硼薄膜。