碳化硼磨料在藍寶石磨削中有哪些優勢

碳化硼磨料在藍寶石研磨中有哪些優勢 藍寶石
研磨工藝的主要目的是去除藍寶石切片過程中產生的表面切割痕跡和不均勻的損傷層,提高晶片的平整度,降低表面粗糙度至滿足預拋光要求。在工業加工中,藍寶石的表面從原材料的粗糙表面到光滑的鏡面需要經過三個加工過程:粗磨、精磨和拋光。經過每道加工工序,藍寶石晶圓的總厚度偏差和表面粗糙度都會逐漸減小。

藍寶石硬度高,一般磨料對藍寶石沒有切削力。從材料和研磨的角度來看,加工和研磨藍寶石晶體的較好材料是人造金剛石、碳化硼和二氧化矽。由於人造金剛石硬度過高(莫氏硬度10),在研磨藍寶石晶片時會劃傷表面,影響晶片的透光率,價格昂貴,而二氧化矽的硬度不夠(莫氏硬度)硬度7)、磨削力差在磨削過程中費時費力。因此,碳化硼磨料(莫氏硬度9.3)成為加工研磨藍寶石晶體的理想材料。

碳化硼很早以前就被用作粗砂研磨材料。它的熔點很高,但可以通過高溫熔化粉末來加工成簡單的形狀。用於硬質合金、寶石等硬質材料的磨削、磨削、鑽孔和拋光。

與金剛石磨料相比,碳化硼磨料在降低藍寶石亞表面損傷深度方面具有明顯優勢。除了碳化硼在藍寶石粗磨方面的明顯優勢外,其與其他磨粒的複合顆粒對於提高藍寶石化學機械拋光的表面質量和加工效率也值得探索。

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